DektakXT型台阶仪系统
[综合管理科]物理与电子科学学院 2018年05月01日
 

设备名称: dektakxt型台阶仪系统

设备编号:20142745

存放地点:第一实验楼  南107  低维结构物理实验室(二)

使用方向:用于测量薄膜材料厚度和粗略观察薄膜表面。

设备概述:dektakxt型台阶仪系统测量二维表面轮廓和三维测量,其样品旋转台可以手动360o旋转或机动360o旋转,扫描长度55mm范围内,每次扫描数据点最多可达120000数据点,以及最大样品厚度为50mm与最大晶圆尺寸为200mm。可以用于金属、非金属以及复合陶瓷等等薄膜材料的厚度测量,而且可以达到最该精度为0.001nm。广泛的薄膜材料厚度的测量。