DZS-500型电子束蒸发与电阻蒸发复合镀膜系统
[综合管理科]物理与电子科学学院 2018年05月01日
 


设备名称:dzs-500型电子束蒸发与电阻蒸发复合镀膜系统

设备编号:1426066(出厂编号)

存放地点:第一实验楼  南106   低维结构物理实验室(一)

使用方向:适用于制备导电薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜、光电薄膜等等薄膜材料。

设备概述:dzs-500型电子束蒸发与电阻蒸发复合镀膜系统是一种利用电子束(电阻)加热使膜材汽化蒸发后凝结在衬底(基片)上成膜的加热镀膜方法,该方法结构简单、实用,蒸发速度在0.01?/s~10nm/s范围内自由设定,极限真空为1×10-4pa,并且可进行原位退火和衬底加热,具有闭环膜厚控制系统,可以实现自动控制膜厚和多层薄膜生长,即可用于新材料、新工艺薄膜研究工作需要,也可用于小批量和高精度薄膜材料制备工作。