设备名称: dektakxt型台阶仪系统 设备编号:20142745 存放地点:第一实验楼 南107 低维结构物理实验室(二) 使用方向:用于测量薄膜材料厚度和粗略观察薄膜表面。 设备概述:dektakxt型台阶仪系统测量二维表面轮廓和三维测量,其样品旋转台可以手动360o旋转或机动360o旋转,扫描长度55mm范围内,每次扫描数据点最多可达120000数据点,以及最大样品厚度为50mm与最大晶圆尺寸为200mm。可以用于金属、非金属以及复合陶瓷等等薄膜材料的厚度测量,而且可以达到最该精度为0.001nm。广泛的薄膜材料厚度的测量。
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