设备名称：dzs-500型电子束蒸发与电阻蒸发复合镀膜系统

设备编号：1426066（出厂编号）

存放地点：第一实验楼  南106   低维结构物理实验室（一）

使用方向：适用于制备导电薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜、光电薄膜等等薄膜材料。

设备概述：dzs-500型电子束蒸发与电阻蒸发复合镀膜系统是一种利用电子束（电阻）加热使膜材汽化蒸发后凝结在衬底（基片）上成膜的加热镀膜方法，该方法结构简单、实用，蒸发速度在0.01?/s～10nm/s范围内自由设定，极限真空为1×10^-4pa,并且可进行原位退火和衬底加热，具有闭环膜厚控制系统，可以实现自动控制膜厚和多层薄膜生长，即可用于新材料、新工艺薄膜研究工作需要，也可用于小批量和高精度薄膜材料制备工作。